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半导体氮气柜生产厂家-氮气柜功能结构及工作原理 时间：2017-3-1 11:17:33 来源: |
| 氮气柜是利用氮气来达到防氧化防潮目的柜体。密闭柜体本身具有送氮和排气的通路。根据应用要求，可配置不同的控制功能。 被广泛应用在微电子，半导体，新能源，国防，军工行业的研发生产工序。用于各类贵金属材料，半导体器件和敏感器件的防氧化保存。 氮气柜各主要功能部件结构以及工作原理如下： 1、氮气在控制单元控制下以预设值进入柜内，保护柜中存放的物料。 当控制单元检测到柜门打开时，就进行高速充气：当柜门全部闭合时，氮气以预设低速充入柜内。 电源断开时流量计仍能持续不断地向柜体提供氮气。 2、门锁及门密封系统安装于柜体上，对柜体构成密封。 3、自动减压泄气系统能起到对柜体内过高的气压进行自动减压和泄压。 4、支撑底座用于安放柜体(带制动系统)，能起到调整柜体平稳作用。 5、采用多点供气系统。氮气通过30个点充入柜体内，使柜体内氮气快速均匀分布。避免单点供气产生的死点死角现象。 |
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